Linear stage
Nzọụkwụ ahịrị ma ọ bụ nzọụkwụ Ntụgharị bụ akụkụ nke usoro mmegharị ziri ezi nke a na-eji egbochi ihe na otu axis nke mmegharị. A na-ejikarị okwu linear slide eme ihe na "usoro", ọ bụ ezie na "usoro slide" na-ezo aka na usoro mmegharị, nke bụ naanị akụkụ nke usoro ahịrị. Nzọụkwụ niile dị n'ahịrị nwere ikpo okwu na ntọala, nke ụdị nduzi ma ọ bụ eriri jikọtara ya n'ụzọ ga-eme ka ikpo okwu ahụ na-ejedebe na mmegharị ahịrị na ntọala ahụ. N'iji ya eme ihe, okwu a na-akpọ usoro ahịrị nwere ike ma ọ bụ na ọ gaghị agụnye usoro nke a na-achịkwa ọnọdụ ikpo okwu na ntọala.
Ụkpụrụ nke ịrụ ọrụ
dezieN'ime oghere atọ, ihe nwere ike ịtụgharị, ma ọ bụ sụgharịa n'akụkụ nke ọ bụla n'ime axis atọ. N'ihi ya, a na-ekwu na ihe ahụ nwere ogo nnwere onwe isii (3 rotational na 3 translational). Nzọụkwụ kwụ ọtọ na-egosipụta naanị otu ogo nnwere onwe (ntụgharị n'otu axis). N'ikwu ya n'ụzọ ọzọ, usoro ahịrị na-arụ ọrụ site na igbochi 3 axis nke ntụgharị na 2 axis nke nsụgharị si otú a na-enye ohere maka mmegharị na naanị otu axis ntụgharị.
Ụdị nduzi
dezieUsoro ahịrị nwere usoro ikpo okwu na-aga n'ihu na ntọala. A na-ejikọta ikpo okwu na ntọala site n'ụdị nduzi ụfọdụ nke na-egbochi mmegharị nke ikpo okwu naanị otu akụkụ. A na-eji ụdị ntụziaka dị iche iche dị iche iche eme ihe, nke ọ bụla nwere uru na ihe ndọghachi azụ na-eme ka ụdị ntụziaka ọ bụla dabara adaba maka ụfọdụ ngwa karịa ndị ọzọ.
Rọl
dezie- Uru
- Ọ dị ọnụ ala.
- Nsogbu
- ikike ibu dị ala, izi ezi dị ala, ndụ dị mkpirikpi.
- Ngwa
- Ogwe nyocha anya, drawer slides.
Ịgbagharị bọl
dezie- Uru
- Njem a na-akparaghị ókè, nke dị ọnụ ala.
- Nsogbu
- Obere ikike ibu, ngwa ngwa ịka nká, ibu na-agbanwe agbanwe ka ihe na-ebugharị.
- Ngwa
Ịdị nro
dezie- Uru
- Ezigbo izi ezi, enweghị mmeghachi omume, enweghị nkwarụ (oge ndụ na-adịghị agwụ agwụ).
- Nsogbu
- Njem dị mkpirikpi (nke a kpaara ókè site na mgbagwoju anya), ikike ibu dị ala, dị oke ọnụ.
- Ngwa
- Nhazi nke eriri anya.
Akpụkpọ ahụ dị gburugburu
dezie- Uru
- Nnukwu ibu, njem na-akparaghị ókè, ọnụ ala.
- Nsogbu
- Enwere ike ijikọta ya ma ọ bụrụ na oge nkedo dị.
- Ngwa
- Ogwe aka radial, scanners, printers.
Akpụkpọ ụkwụ
dezie- Uru
- Ikike ibu kachasị elu, njem na-akparaghị ókè, ogologo ndụ, ọnụ ala.
- Nsogbu
- Ike dị elu achọrọ, nke nwere ike ijikọta ma ọ bụrụ na oge nkedo dị, nnukwu mmeghachi omume.
- Ngwa
- Ngwá ọrụ ụlọ ahịa igwe (dịka ihe igwe na tebụl lathe).
Ụzọ nchịkwa ọnọdụ
dezieỌnọdụ nke ikpo okwu na-agagharị agagharị na-ejikarị ihe na-eme ka ọ dị n'ahịrị nke ụdị ụfọdụ, ma ọ bụ aka, motorized, ma ọ bụrụ hydraulic / pneumatic. Ụzọ a na-ejikarị eme ihe bụ itinye ihe ntutu isi na-agafe n'ime ihe ntutu na ikpo okwu. Enwere ike ịchịkwa ntụgharị nke ihe ntụziaka dị otú ahụ ma ọ bụ aka ma ọ bụ site na moto.
Akwụkwọ ntuziaka
dezieN'usoro ntuziaka, a na-ejikarị bọtịnụ njikwa ejikọtara na ntu. Enwere ike itinye bọtịnụ ahụ na ndepụta iji gosipụta ọnọdụ ya. Mgbanwe nke usoro ahụ nwere njikọ na mgbagwoju anya nke bọtịnụ site na ntụgharị ntụgharị ntụziaka. Dịka ọmụmaatụ, ọ bụrụ na oghere ntụgharị bụ 0.5 mm mgbe ahụ otu ntụgharị zuru ezu nke bọtịnụ ga-ebugharị ikpo okwu 0.5 mm ma e jiri ya tụnyere ntọala nke ikpo okwu. Ọ bụrụ na bọtịnụ ahụ nwere akara ngosi 50 gburugburu ya, mgbe ahụ, nkewa ndepụta ọ bụla bụ 0.01 mm nke mmegharị ahịrị nke ikpo okwu.
Usoro nkenke dị ka nke ejiri maka optics anaghị eji skru lead, kama na-eji skru dị mma ma ọ bụ micrometer nke na-agbanye n'elu mpempe ígwè siri ike n'elu ikpo okwu. Ịtụgharị skru ma ọ bụ micrometer na-eme ka ikpo okwu na-aga n'ihu. Mmiri na-enye ike iweghachi ike iji mee ka ikpo okwu na kọntaktị na onye na-eme ihe. Nke a na-enye mmegharị ahụ nke ọma karịa nke ogbo. Usoro ndị e mere ka awụnye ya kwụ ọtọ na-eji nhazi dịtụ iche, ebe a na-etinye onye na-eme ihe n'elu ikpo okwu a na-emegharị emegharị na ọnụ ya na-adabere na mpempe ígwè na ntọala a kapịrị ọnụ. Nke a na-enye ohere ịdị arọ nke ikpo okwu na ibu ya na-akwado onye na-eme ihe karịa mmiri.
Injin na-agafe agafe
dezieN'ọkwa ụfọdụ akpaghị aka, enwere ike iji moto stepper dochie ma ọ bụ na mgbakwunye na mkpịsị aka. Moto stepper na-aga n'ihu n'ịkwado agbakwunyere akpọrọ nzọụkwụ. N'echiche a, ọ na-akpa àgwà dị ka mkpịsị aka akara. Ọ bụrụ na ihe nkedo screw pitch bụ 0.5 mm na stepper moto nwere nzọụkwụ 200 kwa mgbanwe (dị ka ọ na-adịkarị), mgbe ahụ mgbanwe nke moto ọ bụla ga-ebute 0.5 mm nke ngagharị kwụ ọtọ nke ikpo okwu ogbo, nzọụkwụ nke ọ bụla ga-ebute 0.0025 mm nke linear ngagharị.
DC engine nwere encoder
dezieN'oge ndị ọzọ na-arụ ọrụ n'onwe ya, enwere ike iji DC motor mee ihe n'ọnọdụ bọtịnụ njikwa aka. Injin DC anaghị agagharị na mmụba a na-akwụsi ike. Ya mere, a chọrọ ụzọ ọzọ iji chọpụta ọnọdụ nke ọkwa. Enwere ike itinye ihe ọ̀tụ̀tụ̀ n'ime ihe ndị dị n'ime nke oghere ahụ na encoder eji tụọ ọnọdụ nke oghere na-emetụta ọ̀tùị ahụ ma kọọrọ onye na-achịkwa ụgbọala nke a, na-enye onye na-ahụ maka mmegharị ahụ ohere ịkwaga n'ụzọ a pụrụ ịdabere na ya ma na-emegharị oghere ahụ iji setịpụ ọnọdụ.
Nhazi nke ọtụtụ axis stage
dezieMaka njikwa ọnọdụ n'ihe karịrị otu ụzọ, enwere ike iji ọtụtụ usoro ahịrị ọnụ. Enwere ike ikpokọta ogbo "abụọ-axis" ma ọ bụ "X-Y" site na nkebi abụọ kwụ ọtọ, nke a na-agbanye n'elu ikpo okwu nke ọzọ nke mere na axis nke mmegharị nke nke abụọ na-adabere na nke mbụ. Ogbo axis abụọ nke ọtụtụ mmadụ maara bụ ọkwa microscope, nke a na-eji dobe slide n'okpuru oghere. A "atọ-axis" ma ọ bụ "X-Y-Z" ogbo mejupụtara atọ linear nkebi n'elu ibe ya (na-ejikarị ihe mgbakwunye angle bracket) dị ka axes nke ngagharị nke niile nkebi bụ orthogonal. Ụfọdụ usoro abụọ-axis na atọ-axis bụ ihe ejikọtara ọnụ kama ịbụ ndị a na-achịkọta site na usoro otu axis dị iche iche. Ụfọdụ usoro axis ọtụtụ gụnyekwara ihe rotary ma ọ bụ tilt dị ka ọkwa rotary ma ọ bụ idobe goniometer. Site na ijikọ linear na rotary ọcha n'ụzọ dị iche iche, a ga-ekwe omume nkebi anọ-axis, ise-axis na isii-axis nkebi. Linear nkebi na-ewere usoro dị elu nke usoro nhazi ọkwa dị elu na ngwa nke chọrọ nchikota nke oke ọsọ, oke nkenke na ike dị elu.
Ntinye aha
dezieMmepụta nke semiconductor
dezieA na-eji usoro ahịrị ahịrị na usoro nrụpụta ngwaọrụ semiconductor maka nhazi ahịrị kwụ ọtọ nke wafers nke ebumnuche wafer mapping dielectric, njirimara na nleba anya oyi akwa epitaxial ebe idobe ọsọ na nkenke dị oke mkpa.[1]
Mgbanwe dị iche iche
dezie- Slide Linear
- Nano Linear Stage
- Nano Positioning Linear Stage
- Ultra Precision Machining Linear Stage
Edensibia
dezie- ↑ Group. Linear Stage Brings Speed and Precision to Semiconductor Inspection (en). www.techbriefs.com. Retrieved on 2022-05-27.